本システムは、モジュール性能解析装置です。
真空環境下にて、試料ペルチェの冷却特性を自動で測定、グラフ化することができます。
本システムは、真空装置、ペルチェコントローラ、パソコンで構成されています。 真空装置は、チャンバー内部にプレス上下機構、評価ステージを有し、外部に制御部、真空排気系、放熱用水冷チラー等を設置し、接続されます。
ペルチェコントローラは、評価ステージ上の温度センサやモジュールに接続し、負荷や試料の計測・制御を行います。
パソコンは、モジュールの冷却特性の自動計測・グラフ化、真空排気の自動制御、プレス上下機構の設定等を行います。